白光干涉及共軛焦雙光學系統

 

產品型號：C046

產品分類：AI人工智慧

廠商名稱：和全豐光電股份有限公司

攤位號碼：L701

 

產品特色

 

功能與特色
結合傳統光學顯微鏡組與白光干涉組件，使得白光干涉儀同時具備光學顯微檢測與白光干涉掃描物體表面的功能，同時滿足顯微檢測與物體表面三維量測的需求，可進行粗糙度量測、膜厚量測、3D輪廓分析、微結構分析等更多奈米等級的多功能檢測。透過特殊演算法，達到更高速更精準的檢測結果，性能、功能、效率與設計皆優於市場現有原有的3D輪廓儀。

應用範圍
適用於：晶圓類（矽晶圓、藍寶石、SIC、GAN等）半導體晶圓表面輪廓檢查，元件類(LCD、LED、Micro lens、MEM S等)微結構表面形狀參數量測。
量測項目：2D/3D表面輪廓、粗糙度、段差、平面度、磨耗體積等微結構表面參數量測。全自動量測，並有自動擬合接合功能，擴大量測面積的縫合圖形觀察。

 

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