智能光學晶圓晶片表面瑕疵與高度變化檢測系統
產品型號:SE-5AT2
產品分類:AI人工智慧
廠商名稱:和全豐光電股份有限公司
攤位號碼:L701
產品特色
針對半導體晶圓於製程中所產生的缺陷提供精準光學檢測分析,利用自動對焦之顯微鏡模組搭配XYZ三軸位移平台(整合光學尺)進行飛拍,擷取晶圓 晶片表面影像,可依需要檢出的瑕疵提供影像比對方法與AI影像深度學習法兩種,降低過檢(Over kill)及漏檢(Under kill)的發生,可自訂公差自動分選OK、NG件,針對瑕疵計算面積大小、瑕疵數量及瑕疵位置標註,亦可整合自動化,提高檢測效率。
https://www.buenooptics.com/5at2.html
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