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首頁 / 參觀資訊 / 2023 參展商產品 / 智能光學晶圓晶片表面瑕疵與高度變化檢測系統

智能光學晶圓晶片表面瑕疵與高度變化檢測系統

產品型號：SE-5AT2

產品分類：AI人工智慧

廠商名稱：和全豐光電股份有限公司

攤位號碼：L701

產品特色

針對半導體晶圓於製程中所產生的缺陷提供精準光學檢測分析，利用自動對焦之顯微鏡模組搭配XYZ三軸位移平台（整合光學尺）進行飛拍，擷取晶圓晶片表面影像，可依需要檢出的瑕疵提供影像比對方法與AI影像深度學習法兩種，降低過檢(Over kill)及漏檢(Under kill)的發生，可自訂公差自動分選OK、NG件，針對瑕疵計算面積大小、瑕疵數量及瑕疵位置標註，亦可整合自動化，提高檢測效率。

https://www.buenooptics.com/5at2.html

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