BUSCH COBRA SEMICON 半導體製程用乾式螺旋真空泵浦

產品型號：BUSCH COBRA DS 0600 E

攤位號碼：R1028

產品特色

適用于高要求製程的新一代乾式真空泵浦

COBRA Semicon 乾式螺旋真空泵浦是光伏電池、平板顯示器、半導體生產等高要求製程以及眾多工業塗層應用的理想之選。
COBRA Semicon 的操作原理基於我們最先進的螺旋式技術。得益於榮獲專利的自平衡螺桿，它們在效率方面樹立了全新標準。
COBRA Semicon 兼具高生產能力與高蒸汽和顆粒耐受性。因此，它們可以順利抽取含顆粒的介質。
無油且非接觸式運行的操作原理可確保低維護需求、低運作成本及長使用壽命。
COBRA Semicon 尺寸精巧，即使在狹小空間中也易於安裝。

COBRA DS 乾式螺旋真空泵浦是適用於高要求製程的理想真空發生器。即使在需要高氫氣輸送量的條件下，亦能勝任。因此，它們非常適用於化學氣相沉積、快速熱處理或原子層沉積等應用。
COBRA DS 系列中各種尺寸的真空泵浦均配備高性能集成真空助力器。底泵浦和真空助力器的組合使用提升了抽氣速率和極限壓力。
榮獲專利的自平衡螺旋式設計可完美處理粉末質材料和並確保長效運行。
COBRA DS 真空泵浦的螺桿由一體式鑄件製成，可避免任何間隙。從而避免製程液體或顆粒進入。因此，可以防止腐蝕和出現沉積。
COBRA DS 系列真空泵浦採用高效的間接水冷卻方式。由此可在整個泵體內實現可控的溫度分佈，可隨時回應製程變化。
憑藉其密閉式設計，COBRA DS 可快速、輕鬆地加裝到現有系統中。

適用於高要求工藝的新一代乾式真空泵浦

先進的螺旋式設計
乾式和非接觸式操作原理
可完美處理粉末質材料
高效的間接水冷卻
精巧密閉式設計
高抽氣速率，從而排出氫氣
高效率馬達
尺寸多樣並配備集成真空助力器