為精密設備/儀器解決微震動問題 - 倉敷化工除震系統解析

發佈日期：2023-07-26

攤位號碼：N1128

❝倉敷化工累積60年的防震技術，能解決各種場地環境的複雜震動頻率，甚至是人體無法察覺的超低頻微震，皆能以獨有的技術提供最佳解決方案。❞

近年高科技產業對於設備精度與安定性的要求越來越嚴苛，如何處理微震動已經是業界關注的焦點。
對於廠內的低頻微震，往往是影響精度與良率的主因，為了維持產品的最佳狀態，設備要做的不只除振，其實制振也是需要考量的重點之一。

▌除震性能&制震性能

主動式除震台：
(設備精度要求：次微米 ~ 奈米)

線性馬達控制：除震台內部配置的加速規(感測器)，將目前檢測到的環境震動數據回傳至控制器，根據接收到的數據來調節內部的音圈馬達，主動產生相反方向的震動來相互抵銷，從而實現主動式控制。
氣壓控制：控制系統透過振動平台上的感測器檢測振動信號，計算出對應的控制信號，進而調節氣體腔室內的氣壓以產生反作用力抵消振動，從而達成主動除震效果。
應用例：半導體相關設備、FPD面板相關設備、電子束顯微鏡(TEM/SEM)、白光干涉儀相關應用

被動式除震台：
(設備精度要求：3um以下)