PlanarDL 超精密XY平面式移動平台
產品型號:PlanarDL
產品分類:精微加工雷射應用
廠商名稱:美商艾羅德克有限公司台灣分公司
攤位號碼:K004
產品特色
Aerotech發布推出一款新的X-Y軸向線性馬達平台,該平台擁有領先業界的幾何與動態性能,符合對直線度與平面度的高要求。Planar DL系列包括9種行程與性能的配置,可支援諸如半導體與LED晶圓的表面輪廓測定及高速雷射劃線等多種用途。
該系列平台配備有防止爬動的交叉滾子軸承、精密加工的表面以及透過轉軸剛性中心驅動的線性馬達,其直線度達±0.4μm,而平面度達±1μm;其結構元件則擁有最優化的高動態力與剛性。
平台的速度最高達1米/秒,加速度1.5g,可供高產能、高精度加工應用,並降低成本。Aerotech特有的直接驅動技術,可確保平台的使用壽命長及免維修。其高性能選項使精度及直線度值達到±400nm,而垂直度則達到1弧秒。
Aerotech公司是一家為世界工業、政府、科學和研究機構提供定位和運動控制產品的極有競爭力供應商,其產品專門為需要高精度、高產能移動控制解決方案的應用提供關鍵性能。
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