PlanarDL 超精密XY平面式移動平台

產品型號：PlanarDL

攤位號碼：K004

產品特色

Aerotech發布推出一款新的X-Y軸向線性馬達平台，該平台擁有領先業界的幾何與動態性能，符合對直線度與平面度的高要求。Planar DL系列包括9種行程與性能的配置，可支援諸如半導體與LED晶圓的表面輪廓測定及高速雷射劃線等多種用途。

該系列平台配備有防止爬動的交叉滾子軸承、精密加工的表面以及透過轉軸剛性中心驅動的線性馬達，其直線度達±0.4μm，而平面度達±1μm；其結構元件則擁有最優化的高動態力與剛性。

平台的速度最高達1米/秒，加速度1.5g，可供高產能、高精度加工應用，並降低成本。Aerotech特有的直接驅動技術，可確保平台的使用壽命長及免維修。其高性能選項使精度及直線度值達到±400nm，而垂直度則達到1弧秒。

Aerotech公司是一家為世界工業、政府、科學和研究機構提供定位和運動控制產品的極有競爭力供應商，其產品專門為需要高精度、高產能移動控制解決方案的應用提供關鍵性能。

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