用於超高精度光學元件的離子束濺鍍 (IBS) 系統 LIDIZ
產品分類:雷射應用
廠商名稱:I-PHOTONICS/GSI
攤位號碼:P1121
產品特色
LIDIZ IBS系列是50年經驗的離子束濺鍍(IBS)技術的成果與體現。 IBS 技術以其極低損耗的光學鍍膜而聞名。 LIDIZ IBS 鍍膜機可進行多種應用的光學鍍膜沉積。
LIDIZ 配備了一個射頻柵格離子束濺射源和一個額外的射頻柵格離子束源,用於預清潔、表面活化、濺射輔助(包括射頻中和器)。
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