高速低振機器人
產品分類:智慧製造相關
廠商名稱:經濟部科技研發主題館
攤位號碼:I608
產品特色
晶圓機器人目前市場規模約8.1億美元,預估2025年將達10.3億美元,而隨著半導體產業不斷擴張,晶圓機器人的需求與性能要求也隨之增加,本技術開發了高速且低振動控制機器人以及採用嵌入式控制系統,電控組件與機器人為一體式設計,有效提升機器人整合至EFEM中之空間利用率,並解決維修不便、電磁干擾等問題。
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