SD Optics 研发 3D Line Scanner 用于半导体测试并以3D模式显示瑕疵
廠商名稱：SD OPTICS, INC.
發佈日期：2023-06-29
攤位號碼：P820
SD OPTICS（SD OPTICS）研发出一款可用于半导体测试并且能够以3D模式显示瑕疵的 3D line scanner，
3D line scanner 能够快速检查具有高度段差的待检样品并且能够获取高清3D图像。
一般的扫描检测仪器在进行检测时容易获取2D图像，但是获取3D图像则需要更高难度的技术，并且由于待检物体存在不同高度段差，因此相机镜头的焦距也需要多次调整焦距后才能够使用，这样的方式不但消耗时间也有可能导致数据缺失检测不完整。
SD Optics 通过可实时高速变焦的MALS™技术解决了这一难题， MALS™采用微精密机械技术（MEMS）制成，其尺寸小于1厘米，内部陈列有8000个微小型镜片系统，通过数码调控方式改变每个单独微镜片的方向和位置来改变曲率，形成不同的“虚拟”透镜，进而快速重塑该“虚拟”透镜的曲率可以实现超快速聚焦以及实时全焦成像和数据记录。
SD Optics 是唯一一家拥有这项 MALS™ 技术的公司。
SD Optics 首席执行官(CEO) Seo Chung-soo 表示：“3D line scanner 能够快速检查半导体晶圆和显示面板，不仅可用于样品的检查，也能够应用于全面检查”，并补充道，“3D line scanner以及近期新推出的可使2D显微镜实现3D显示功能的“WiseTopo”电子式光学模组等，这些产品皆为超高速变焦系统 MALS™ 技术的拓展应用，SD Optics 将持续丰富 MALS™ 技术相关产品线，满足客户的多样化需求。
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